POCl3に耐性のある素材

質問

こんにちは。私は半導体関連の装置の設計・製作をしています。
　ユーザ様からの要求で、オキシ塩化リンという有毒ガスを使用する装置を開発しています。私の会社では初めて取り扱う装置で、あまりソレに関する知識のある方が居ません。
　上記のガスに耐性を持った材料を調べている最中で、あまり耐性に関する資料が無いと思い、投稿させて頂きました。
　今までの調査で、SUS316L等はあまり良くなく、PTFE、PFA等の樹脂系は良いという事は分かったのですが・・・。
　どなたか、POCℓ3（オキシ塩化リン）に耐性のある素材をご存知の方いらっしゃいましたら、教えて下さい。宜しくお願いします。

回答No.2

noname#230359 · ベストアンサー

ＭＳＤＳを見ますと、混触危険物として”金属”と記載されており、ニッケル、鉛を除くとあります。

お礼

殆どの金属が混触危険物とは・・・・本当に危険な物質なんですね。
　このご回答をいただいて、改めてこれから作る装置の、安全に関する重要性を感じ取る事ができました。
　金属に関しては、インコネルぐらいしか検討していませんでした。因みに、それでも錆びる事があるみたいで（汗）
　ニッケルは、いけそうな気がしてきました。検討してみます。
　ご回答いただき、本当にどうも有難う御座いました！

回答No.1

noname#230359

オキシ塩化リンは水と接触すると塩化水素ガスを生成します。
非常に取り扱いに注意すべき危険な物質です。
化学合成に使用することがありますが、弊社の場合はグラスライニング缶を使用します。配管も一部はグラスライニング製です。

お礼

ご回答、有難うございます。
　成る程、そういえば、タンク等で石英を使用しているメーカが有ったのを
思い出しました。
　という事は、ガラス系のものに相性の良いモノが多いんですかね？
　因みに、金属で相性の良いモノって、有るんでしょうか？
　例えば、真鍮とか・・・・・。