大型ステージにおける固有振動の件につきまして

質問

ガントリ型大型ステージの有振動対策について、質問させて頂きます。

現在、ガントリステージにおいて
ガントリーコラムの駆動は、リニアモータ。
ガントリーコラムの案内は、接触型のリニアガイドを使用しております。

今後、運動精度の向上や、剛性の向上を考え
スライダ選定において、非接触型のエアスライダの使用を視野に入れて検討しています。
その際、装置や外部からの振動に対し、接触型に比べて
エアスライダは影響を受けやすいのですが、
移動体への振動の影響を抑える対策としては、どのような対策があるのでし
ょうか？

何か知見をお持ちで、ご教授下されば幸いです。

回答No.1

noname#230359 · ベストアンサー

KOKIさんの設備がどのくらいの大きさか、どのような設備かわかりませんが、うちも別な意味で地震対策を色々考えています。
色々と対策はあるのですが、まるっきり振動なしというのは難しいと思われます。
うちで行なっているのは
?床のコンクリの厚さを厚くして、土台を安定させる(もちろん機械フレームの剛性も必要ですが)
?逆に床の下に砂を埋め、振動を軽減する
?免振装置･･･検討中
　(3種類の物があります。揺れ方向で構造・価格も変わります)
あまり参考にならないかもしれませんが。

お礼

>文さん

ご回答有難うございます。
大きさとしては、3000×3000程度で、コラム重量が800kg程度の物です。

ステージ全体の免振対策としては文さんがおっしゃるような対策が望ましいと思います。
私どもでも何度か検討致しました。アクティブサスなど・・・

ただ、今回の件につきましては、
エアスライダに加える形で、振動を抑えて保持出来る機構があるのかお尋ねした次第です。
説明が至らない点があり、申し訳ございませんでした。

回答No.2

noname#230359

ご質問のような物は『私の知る限り』ありません。
似たような（？）物としてはミツトヨさんが権利者となっている『特許2582214』のような物もあります。ただ、中身を読めばわかりますが、これは移動/停止時の加減速に起因する振動を減衰させるものです。こういうのを応用すれば何かできるのかもしれませんが移動軸に対して垂直面内の振動に関しては無防備です。
したがって、ご要望の『外部振動』に対しては上記のとおり『私の知る限り』ありません・・・です。
ですから、基本は『回答（１）』さんのおっしゃるとおり構造体に入る前に振動を遮断することだと思います。

お礼

ご回答有難うございます。

現時点ではスライダに乗ってしまった振動対策は困難であり、
エアスライダに振動が乗る前に対策する必要があるということですね。

ステージ全体での防振対策の検討を行っていきたいと思います。
ご丁寧に有難うございました。