斜め研磨で

質問

斜め研磨についての英文を読んでいたら
以下の文章が書いてありました。

A well-defined constant value for the angle α can be obtained by changing the primary-ion dose linearly with the lateral coordinate x or likewise changing the dwell time of a chemical reactant to form the angle α by chemical etching.

試料表面を角度αで研磨した時の話です。xは試料の平面内のうちの１つの軸です。
研磨角αの求め方について書いてあるようですが
意味がわかりません。
どういうことなのか詳しく教えていただきたいのですが。
参考になるホームページなどをご紹介してもらっても構いません。
よろしくお願いいたします。
αは

回答No.1

noname#230359

角度αの最適値（最適な研磨）は，次のいずれかの方法で得ることができる。

? 最初に供給するイオン量を変える。（イオン量を増やすと，αはＸ軸に比例して大きくなる）
? エッチングのために使用する化学反応物質を，規則的に供給を停止する。（化学反応物質は，αの大きさを決定づける）

こんな和訳です。専門家が読んで理解できるとうれしいのですが。