小さい試料のホール測定

質問

１００μm角のサンプル（シリコン）の
ホール測定を行いたいのですが、何か良い方法はありますでしょうか？
小さすぎてプローブを置くことができません。
（van der pauw法）

試料の形態ですが、対向する一対の電極はすでに形成されています。

回答No.1

atoritaiti · ベストアンサー

「技術の森」に質問されたらどうですか？
計測のプロがいますから答え貰えるかも？
検索すれば一発で出ます。

お礼

回答ありがとうございます。
技術の森で聞いてみます。