XPSグラフのピークのシフトについて

質問

IGZO-TFTを異なる温度で熱処理したときの、IGZO膜の組成分析をXPSで行っている論文を読んだのですが、「以下のXPSのグラフ（O 1s）のピークが高エネルギー方向に遷移しているのは、酸素空孔の増加を意味している」と書いてありました。

なぜこのようなことが言えるのでしょうか？ピークが高エネルギー方向へシフトするのは、電子密度が下がったときですよね？

回答No.1

phosphole · ベストアンサー

酸素空孔が増える→その分、相対的に系全体の電子密度は低下する→酸素のXPSピークが高エネルギーにシフト
という理解で良いかと思ったのですがどうでしょう？
酸素空孔が増える→残った酸素イオンは、まわりの金属イオンにより強くバインドされる→酸素のXPSピークは高エネルギーシフト
の方が分子科学的にはわかりやすいですが。

お礼

なるほど。とても分かりやすかったです！
ありがとうございました！！！