厚い基板上のナノ粒子はどう観測したらいいですか？

質問

SEMの分解能では観測できない、試料（基板）が厚くてTEMでは観測できないようなナノ粒子はどのように観測すれば良いでしょうか。
基板上のナノ粒子の粒径分布を作ることを目的としています。

回答No.3

leo-ultra · ベストアンサー

基板も電気を通すのならば、STMがいいのでは。

AFMだと、ちょっと厳しいか?　最新のやつならばいくかも。

お礼

STMについて調べてみましたが、分解能も良く目的のものが撮れそうです。

回答ありがとうございました。

回答No.2

leo-ultra

具体的にどういう基板の上に、どういう物質でできたナノ粒子が載っていて、
どのくらいのサイズだと予想されるのでしょうか？

そういう基本情報がないとアドバイスしようがありません。

補足

失礼しました。
基板は金や白金で、ナノ粒子は銀や銅です。
大きさは数nm程度です。

回答No.1

tance

エバネッセント光を使った顕微鏡ではどうでしょうか。

お礼

回答ありがとうございます。
調べてみましたが少し分解能が足りないみたいです。