大面積中の微小突起を見つけるには？

質問

大面積のステンレス鋼板を複合電解研磨を行いました。
電解研磨後の面粗度はRa:0.2μmでRmax:2μmになりましたが、ごくわずかですが2μm以上の突起が残っているようです。
　2μm以上の突起を簡単に発見する方法を教えて頂きたく。
突起は最大でも10μm程度だと思います。
面粗度計では測定範囲が狭すぎて見つけれませんでした。
良い知恵をお持ちの方は、是非ともご教示願います。

回答No.1

FM-8 · ベストアンサー

どういう突起かイメージできませんが，
触診でしょうね．

許されるならば，自分の手でなでてみると言うことです．
手の指のはらか，または，爪を立てて適当になでてみれば，この程度の突起でもわかるかもしれません．

触覚というのは，非常に敏感です．
定盤や，巨大反射型望遠鏡も，最後は手の感覚ときいてます．

または，これも許されるかはわかりませんが，女性のストッキングのような「電線」しやすいものでなでてみるのも手ですね．

これも想像ですが，光の反射で，光沢感の違いを見てみたらわかりませんかね．

どのような用途にその「大面積のステンレス鋼板」を使うのか細くしていただければ，みなさんの回答も精度が上がると思いますが．

お礼

回答ありがとうございます。
やはり人間の感覚に勝るものは無いですよね。
ストッキングを使うのは面白そうなので試して見ます。

回答No.3

oshietekudashai

お問い合わせの測定ですと、走査型レーザー顕微鏡で測定するのがよいと思います。参考までにURLを添付します。
実際に測定する場合は、顕微鏡のメーカーに測定トライアルを依頼するか、各地の工業試験場、あるいは、以下の機関へ相談することをお勧めします。
　東京；東京都立科学技術研究所　　
　　　　http://www.iri.metro.tokyo.jp/
　大阪；大阪府立産業技術総合研究所
　　　　http://www.tri.pref.osaka.jp/gyomu/
　神奈川；神奈川産業総合研究所
　　　　http://www.kanagawa-iri.go.jp/

参考URL：

http://www.keyence.co.jp/microscope/product/vk8500/productinfo_03.html

お礼

アドバイスありがとうございます。
予算があまり無いので現実的ではありませんが、一度相談してみます。

回答No.2

noname#11476

突起の高さではなく、サイズはどのくらいですか？

１．サイズが小さい（突起の高さと同程度以下）
　レーザー光を広げた光を斜めから照射して、真上から見ると、突起のような障害物のあるところは光の散乱で光って見えます。
　実はこの方法を利用して半導体ウエハ（最大径３００ｍｍ）上の微細なゴミ（ｎｍ単位の小さなもの）を見つけるのに使っています。さすがにｎｍ単位となると目視では出来ませんが、突起サイズが大きいのでこの方法は使えるかと。

２．サイズが大きい
　めっきということは鏡面でしょうか？であれば、オプティカルフラットという要するに平面殿出ているガラス板（大抵は円形）を被測定物の上に載せ、ナトリウムランプの黄色のｄ線をフィルタで切り出した光を当てると、干渉縞が見えます。ここで突起物があると干渉縞の縞間隔が細かくなり、あまりにも突起が大きいと見えないので、そのオプティカルフラットのおいた範囲に突起があることがわかります。おき方を変えて試せばどこにあるか見当がつくでしょう。

なお、触診も有効な方法ですよ。大体人間の指は数ミクロン程度の段差を感じることが出来るようです。ただなだらかな段差は無理ですが。

では。

お礼

アドバイスありがとうございます。
突起のサイズは大きい物で５０ミクロン程度です。
鋼材の表面は電解研磨されているので鏡面に近い状態になっています。
　１のレーザー光照射は、まったく思いつかなかった方法です。
準備に時間がかかりそうですが試してみます。
あとオプティカルフラットは持っていますので試してみます。