ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）の画像モードについて

質問

日本電子(JEOL)のSEMを利用していますが、画像モードについて質問があります。
TOPO、COMPOは理解できるのですが、SEI、LEIの画像モードの仕組みが分かりません。説明書やネットで調べても詳しく載っていません。おそらく、JEOL独自の用語だと思うのですが。

回答No.1

c80s3xxx · ベストアンサー

SEI (secondary electron image)
LEI (lower secondary electron image)
と書いてありますが．
SEI 二次電子像は SEM の基本モードのひとつだと思うんですが．

補足

早速の回答ありがとうございます。
英語より判断すると、LEI はSEIに比べてより低い二次電子による像ということなのでしょうか？

回答No.2

128yen

JEOLのSEMは使ったことがありませんので、推測ですが・・・

おそらくお使いのSEMはセミインレンズタイプではないでしょうか？
もしそうでしたら、下方の検出器で得られた二次電子像だと思います。

比較的凹凸のあるサンプルを観察してもらって、
SEI（上方で検出）とLEIの像を比較すると
LEIの方が凹凸感のある像であれば下方検出器からの信号だと考えられます。

お礼

なんかいろいろな本を調べたら、
自分の中で、こういうことだろうなということが分かってきました。

129yenさんのおっしゃるとおり、
LEIは下方検出器だと思います。

回答ありがとうございました。