SEM(走査型電子顕微鏡)のエミッション電流とは？

質問

SEM(走査型電子顕微鏡)のエミッション電流とは？
研究でSEMしていますが、エミッション電流の値の意味がわかりません。
今は規定値の10μAで測定していますが、人によっては5μAで測定している人もいます。
フィラメントの寿命が近づくとエミッション電流が下がるのはわかりますが、その値が撮影画像にどのような影響を及ぼすのでしょうか？
また、エミッション電流の値の決め方がありましたらお教えください。

回答No.1

kenojisan · ベストアンサー

私はSEMのユーザー経験が有るだけで、装置の専門家では有りませんが、分かる範囲で回答します。

エミッション電流とは、まさに言葉どおりに、フェイラメントから放出される電子の電流値のことです。
SEMのレンズ（コイル）条件にもよるのですが、試料を照射するプローブ電流は、大雑把にはこのエミッション電流に比例すると考えてよいでしょう。
従って、エミッション電流を増すと、明るいクリアな画像が得やすくなります。
しかし、大きすぎるエミッションでは、電子ビームの収束が悪くなるので分解能が悪くなる傾向が有ります。
また、高エミッションでは、電子ビームのダメージを受けやすい試料は観察しにくいですし、導電性の悪い試料でも電荷がたまるチャ－ジアップという現象が起きやすくイメージがぼけやすくなります。
最適なエミッション電流は装置によって異なるので、装置のマニュアルorメーカー推奨値に従うのが良いです。
SEMには、元素分析用の蛍光x線分析装置が付属している場合が有りますが、一般的には蛍光分析の時には多少分解能を犠牲にしても、分析効率が高くなる高エミッション条件を使うことが多いようです。

お礼

ありがとうございました。

エミッション電流について大体わかりました。

補足

回答ありがとうございます。

もうひとつお聞きしたいことがあります。大雑把にプローブ電流がエミッション電流に比例するとのことですが、プローブ電流とエミッション電流は別個に指定できますよね？
例えばエミッション電流が10μAでプローブ電流が5nAの時と、エミッション電流が5μAでプローブ電流が5nAの時とでは画像に違いがでるのでしょうか？
もし画像に違いがでるのなら、プローブ電流の値に関係なく、エミッション電流が画像に影響を及ぼすと考えていいのでしょうか？