透過率からの吸収係数の算出方法

質問

Siウエハ中の酸素濃度を求めたいのですが、そのためには吸収係数が必要になるようです。透過率から吸収係数を求めるにはどうしたらよいのでしょうか。

回答No.1

nzw · ベストアンサー

ここで言う透過率とは、表面反射等の影響を含んだいわゆる外部透過率のことですね。以下のサイトに詳しい説明があるので、参照してみてください。

http://www.cvimgkk.com/products/01_kougaku/guide/4/4material_2.html

なお、外部透過率には、表面反射と裏面反射の影響がでます。また、通常のSi基板の場合、裏面はわざと鏡面にしていませんので、その部分での散乱が生じます。散乱により検出器に入る光が減ると、見かけの透過率はさらに下がります。酸素濃度定量となると、たぶん10um前後でのFTIR測定になると思いますので、可視に比べれば散乱の影響は少ないのかもしれませんが、注意しておいた方がいいでしょう。