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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：線吸収係数）
X線測定で材料表面の物性評価を行うGAXRDとは？
このQ&Aのポイント
- GAXRD（Glancing Angle X-Ray Diffraction）は、材料表面の物性評価を行うための手法です。入射角を変えてTiN膜のX線回折パターンを測定し、物質測定深さを概算します。
- X線の線吸収係数を使い、物体の透過後のX線の強度から物質測定深さを概算することができます。しかし、TiNの線吸収係数については情報が限られています。
- 線吸収係数を知る方法がわからない場合は、別の方法でX線侵入深さを測定する必要があります。
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質問者が選んだベストアンサー
TiNの減弱係数は下記URLを見てみてください。 http://physics.nist.gov/PhysRefData/FFast/html/form.html Compound* formula or element symbol: の欄にTiNと入れて Type of Dataその他の欄で適当に選べば出てきます。 質量減弱係数でも線減弱係数でも出てきます。線減弱係数だとρを入れないといけませんけどρはわかっているんですよね。
お礼
御礼が遅れまして大変申し訳ありません。 参考URLにて無事解決いたしました。 ありがとうございました。