シリコンウエハーの赤外線透過率について

質問

今度、シリコンウエハーに試料をつけてFTIRで分析したいと考えております。

そこで問題となってくるのがシリコンウエハーの赤外線の透過率です。
シリコンウエハーの厚さごとの赤外線透過率を知りたいのですが、良い文献はないものでしょうか？？

もしくは、どの程度の厚さで赤外は透過したなどの漠然とした情報でも構いません。

宜しくお願いします。

回答No.1

leo-ultra · ベストアンサー

シリコンウェハーの伝導度にすごく透過率が依存します。キャリヤ吸収！

厚さ0.5mmのｐ型Siで、波数4000－400cm-1の範囲で、
20Ωcmのものは、大よそ50％透過します。

反射も50％くらいなので、Siウェハーによる吸収はほぼゼロです。
ただし、CやO不純物の吸収がある領域では透過率が下がります。

一方、同じ厚さでも0.02Ωcmのものは、3000cm-1以下で透過率が0.5％以下です。

これは2004年のVacuumの論文に載っていました。

お礼

ご回答ありがとうございます。
伝導度が透過率に依存する事は知りませんでした・・・。
勉強不足でお恥ずかしい限りです。

参考にさせていただきます。