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バラツキの要因について

現在、某メーカのレーザ変位計を使用していますが、繰り返し性において、満足できる結果を得ていません。その原因について、何か思いつくことがあれば、教えて下さい。 (補足)使用レーザ:半導体レーザ     センシング方式:共焦点方式     メーカ保証分解能:10nm     リニアリティ:F.S.0.5%(±5V)     測定レンジ:F.S.±25um     使用環境:温度22度±1度、湿度30%±10% 現在の調査で、分かった事として、測定対象を固定した状態にもかかわらず、約6分に1回の低周波成分が入り、測定値にバラツキが生じます。(振幅:0.15um)この原因が、未だ特定できていません。この原因が分かれば、繰返し性において、安定するのではないかと考えています。こういった症状は、レーザ変位計固有の問題なのでしょうか?それとも、半導体レーザに対する問題なのでしょうか?現在の測定時には、直角プリズムを使用し、光軸を90度曲げて、試料を測定しています。また、こんな確認をすると、こういうことが分かるといった内容でも結構です。 どんな些細な事でも結構ですので、回答を宜しくお願いします。

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回答No.1

溺れる者は藁をもつかむ、と言う所で藁を一本。 原因として 1 測定器に問題が有る 2 サンプルに問題が有る 3 外部要因 に分類して良いと思います。 測定器に関しては測定器が一定時間ごとにキャリブレーションを行いその時の測定制度が落ちる、と言うより出鱈目になった経験が有ります。(測定器のバグでした) 外部要因として考えられることは、以前TVで放送していましたが、某半導体メーカーで間隔をおいて歩留まりが低下する現象が有ったそうです、原因はJRの電車の振動だったそうです、工場と線路の距離は忘れましたがその時は『けっこう離れているのに』と思いました。 誤差の発生するインターバルが・・・でしょうね。

0333
質問者

お礼

ありがとうございました。

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  • kgu-2
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回答No.2

測定機器を、昼間使うとバラツクが、夜だと安定することもあるようです。  昔は、大容量の電気を使うと割り引きがありますが、今は高くつきますので、契約電気量をギリギリに設定しています。そうすると、エアコンやパソコンの普及で、契約量ギリギリか、超えることも考えられます。すると、電圧が不安定になって、ということのようです。  一度、夜に測定してみて下さい(残業になりますので、あくまでもご参考まで・・・)。

0333
質問者

補足

アドバイスありがとうござました。 一応、夜、人が少なく、消費電力的に少ない時間帯のデータは、既に取得済です。但し、測定器側への入力電圧の確認は、行っていませんので、データ取りしてみようと思います。