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バラツキの要因について
現在、某メーカのレーザ変位計を使用していますが、繰り返し性において、満足できる結果を得ていません。その原因について、何か思いつくことがあれば、教えて下さい。 (補足)使用レーザ:半導体レーザ センシング方式:共焦点方式 メーカ保証分解能:10nm リニアリティ:F.S.0.5%(±5V) 測定レンジ:F.S.±25um 使用環境:温度22度±1度、湿度30%±10% 現在の調査で、分かった事として、測定対象を固定した状態にもかかわらず、約6分に1回の低周波成分が入り、測定値にバラツキが生じます。(振幅:0.15um)この原因が、未だ特定できていません。この原因が分かれば、繰返し性において、安定するのではないかと考えています。こういった症状は、レーザ変位計固有の問題なのでしょうか?それとも、半導体レーザに対する問題なのでしょうか?現在の測定時には、直角プリズムを使用し、光軸を90度曲げて、試料を測定しています。また、こんな確認をすると、こういうことが分かるといった内容でも結構です。 どんな些細な事でも結構ですので、回答を宜しくお願いします。
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