レーザー光を浴びるウエハ表面の安全性について

質問

お世話になっております。
現在検討中の案件で、レーザー変位計（キーエンス）を使用してウエハの厚みを測定しようと思っています。厚みの測定自体は問題なく出来ることをﾒｰｶｰにも確認し、また、レーザー光の人体への影響もクラス１ということで人体には影響しないことも調査しました。しかし、ウエハ表面に直接レーザー光をあてても良いものかどうか？という点があり、その点についてはメーカーも把握していない（資料が無い）様です。実際やってみて、事後結果で「大丈夫だった」から使用できるという判断も大事であるとは思いますが、導入前にクラス１であれば電気的にＯＯだから安全という根拠を知りたく存じます。お分かりになる方、ご教示お願い致します。

回答No.1

noname#230359 · ベストアンサー

装置は、ウエハーメーカー向けですか？、デバイスメーカーですか？
の質問はあまり意味が無いですね。

さて、デバイスメーカーでもウエハ全体を使用してチップは作りません。
ウエハのエッジ近くを“直接レーザー光”で当てても問題はないと考えます。

既に、ウエハエッジ近くのマーキングをレーザー等で読み取るセンサーも市販
されている？情報を聞いた事があります。
最近は、隠居生活モードなので、最新情報には疎くて…。

確か、ウエハエッジから2～3mmは大丈夫です？？
厚みは、0.775mm？？で、ラウンドエッジなら、1.5mm程度は平面があるので。

以上の情報を、貴殿のknow-Whoの方々に確認して、進めて下さい。

お礼

参考になりました。有難うございました。

回答No.2

noname#230359

電気的に安全、というニュアンスがよく理解できませんが、例えば、ウェア表面の電気伝導度が変化する、というようなことですか？　深さnｍレベルでの変化は無きにしもあらずです。測定後に、ウェハ表面にフォトリソ加工で回路を作製するのであれば、気にありますね。ウェハ測定中の周囲雰囲気にレーザ光で反応を喚起される物質が存在すれば、表面の伝導度を変化させるような薄膜が成長するでしょう。ウェハをお客さんに販売して、お客さんのほうで表面洗浄して用いるのであれば、そう不安は無いでしょう。心配であれば表面分析しておけば如何ですか。

お礼

回答有難うございます。