"etched profile"の意味

質問

論文を読んでいて"etched profile"という言葉があるのですが、この意味を知りたいです。
Binary opticsと関係があるようですが、どなたかご存知の方いらっしゃいましたらお願いします。

回答No.2

moritakeni · ベストアンサー

プラズマを用いた半導体プロセスなどで出てくる"etched profile"として回答します。
半導体製造過程でシリコン基板などへ微細加工を施す必要があるのですが、その形状特性のことを指します。

基板上に細い溝を掘る際に、プラズマ雰囲気下でイオンを衝突させ、溝を進展させていくのですが、
現在では加工精度がナノのオーダーで求められていますので、できるだけ細く深い溝を掘ることが要求されます。
溝の深さと幅の比をアスペクト比といいます。
（彫りたくない箇所には皮膜を施します）

イオン粒子は電荷を持っているため基板に電圧を印加することで、望む方向へと溝を掘ることができます。
ところが、プラズマ中には電離していない分子が多数存在しており、これらもエッチングに関与します。
分子は電荷を持っていませんので、等方的にエッチングが進行してしまいます。

以上のことからプラズマの状態（ガスの種類、電離度、圧力など）、基板への印加電圧などのパラメータにより
溝の形状（etched profile）が変わってしまうわけです。
安く安全な工程で綺麗に（高アスペクト比）な加工をするというのが工学的な目的ですね。

Binary opticsという言葉になじみがないため別分野かもしれませんのでご参考まで。
どのような分野かをはっきりさせると望む回答が得られるかと思いますよ。

回答No.1

genso-cake

直訳すれば、「はっきりとした輪郭」って感じになりますが。
光学関係ならば、ぼやけていた像がはっきりするとか、
はっきりしていた像がぼやけるとか、
そういう感じの時に使われそうですが、いかがですか？