- 締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:Si他ウエハーの仕様について)
Si他ウエハーの特性とは?
このQ&Aのポイント
- Si他ウエハーについての仕様についてお尋ねします。表面仕上げやEPDについての意味が分からないため、ご教示いただきたくお願いいたします。
- Si他ウエハーのスペック表には、表面仕上げがbright etched、EPDがxx μm以下と書かれています。表面仕上げの意味やEPDの略が分からないため、詳しい方に教えていただきたいです。
- Si他ウエハーの仕様について質問です。表面仕上げがbright etched、EPDがxx μm以下と書かれていますが、これらの意味が分かりません。知識が不足しているので、教えていただけるとありがたいです。
- みんなの回答 (1)
- 専門家の回答
みんなの回答
noname#230359
回答No.1
今後の検索のヒントになれば・・・ スライスしたウェーハを 機械的に研磨:ラッピング ↓ 薬液で研磨:エッチング ↓ ケミカルメカニカルポリッシュ:ポリッシュ(ミラー面になる) ラッピングまでで終わればラップド, エッチングまででエッチドウェーハ。このときにかなり光沢がある状態に仕上げてある,という意味でブライトエッチドなのだと思います。 EPDはEtch Pit Density エッチピット密度 通常は,〇〇個/cm2 とかの単位なのですが・・・
お礼
ご回答ありがとうございます。 エッチングによる研磨というのがあるのですか。 先入観で、研磨はこするものとばかり考えておりました。 ご紹介のURLも参考になりました。 EPDは単位からして別の略称かと思っておるのですが・・・。