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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:Si他ウエハーの仕様について)

Si他ウエハーの特性とは?

このQ&Aのポイント
  • Si他ウエハーについての仕様についてお尋ねします。表面仕上げやEPDについての意味が分からないため、ご教示いただきたくお願いいたします。
  • Si他ウエハーのスペック表には、表面仕上げがbright etched、EPDがxx μm以下と書かれています。表面仕上げの意味やEPDの略が分からないため、詳しい方に教えていただきたいです。
  • Si他ウエハーの仕様について質問です。表面仕上げがbright etched、EPDがxx μm以下と書かれていますが、これらの意味が分かりません。知識が不足しているので、教えていただけるとありがたいです。

みんなの回答

noname#230359
noname#230359
回答No.1

今後の検索のヒントになれば・・・ スライスしたウェーハを 機械的に研磨:ラッピング ↓ 薬液で研磨:エッチング ↓ ケミカルメカニカルポリッシュ:ポリッシュ(ミラー面になる) ラッピングまでで終わればラップド, エッチングまででエッチドウェーハ。このときにかなり光沢がある状態に仕上げてある,という意味でブライトエッチドなのだと思います。 EPDはEtch Pit Density エッチピット密度 通常は,〇〇個/cm2 とかの単位なのですが・・・

参考URL:
http://www.komsil.co.jp/products/prod2.htm http://www.naganodenshi.com/htm/silicon.htm
noname#230358
質問者

お礼

ご回答ありがとうございます。 エッチングによる研磨というのがあるのですか。 先入観で、研磨はこするものとばかり考えておりました。 ご紹介のURLも参考になりました。 EPDは単位からして別の略称かと思っておるのですが・・・。

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