「酸化膜の抵抗値」について教えてください

質問

半導体初心者ですが、iO2膜の抵抗値を算出する必要にせまられまして
どなたか算出方法をご存知でしたら教えて下さい。
以下の情報があります。
膜厚＝320nm、真空の誘電率ε_0=8.85e-18[F/um]、K=3.9(この意味がわかりません)
以上宜しくおねがいします。

回答No.1

rabbit_cat

SiO2ですよね。本当に抵抗値ですか？SiO2は一応、絶縁体ということになっているので、普通の意味での抵抗値はものすこく大きいですよ。
与えられている情報をみると、抵抗値ではなくて、容量値（あるいは、ＡＣでのインピーダンス）を求めろといわれているような気がします。
一応、Ｋは数字を見る限り、κ（カッパ）のことで、比誘電率のことです。電磁気とか化学の授業なんかでは、比誘電率はεrと書くと習うんですが、なぜか半導体の世界では、比誘電率をκあるいは ｋで表わします。High-k とか Low-k とか言います。

お礼

どうもご回答ありがとうございました。