ITO配線の導通チェック

質問

ITOをパターニングした配線の断線チェックはどのようにされていますか？
テスターでは抵抗が高すぎるのか難しかったみたいです．
配線の膜厚は１５０ um, 幅は0.1 mm, 長さは最大で30 mmです．

すみません，150 nmが膜厚でした．

回答No.3

noname#230359

電子立国の頃は目視
http://www.nicovideo.jp/watch/sm17996182

今は画像処理だと思うが

お礼

私も目視で行なっております．目視最強ですね．数が多くなるとしんどいですが．画像処理システムを組むほどでもないかと思います．

回答No.2

noname#230359

もちろん表面保護膜などはないという状態ですよね？

業務だとしたら薄膜用のプローブを購入してください
接触面が平らになっているもの（その他にもあるけど）です
接触面の周長が配線幅より広くなるようにしてください。

先の尖ったプロープでは接触点周囲の抵抗率が大きく作用したり
FTO/ITO膜自体が破損してうまく測れないと思います
ハンディテスターなどのテスタ棒では
表面状態が悪いので安定した測定は無理でしょう。

とりあえずITO膜の比抵抗は分かっていますよね？
幅0.1で最大長30なら、300のアスペクト比で概算してみてください。

数値的にはハンディテスタのレンジで測れない値ではないはずですが
精度を求めるなら４点法などで測れる計測器が必要になるでしょう。

もしテスターというのが半導体テスターのようなものなら
抵抗を測る機能は貧弱ですので
ITOパターンの片側をプルアッププルダウン設定して
もう片側からリークレンジの設定で計測されてみてはいかがでしょうか？

テスタ用語では、プルアップ、プルダウンではなく
ソース、シンク　という言葉を使うと思います。

お礼

ありがとうございます　．
プルアップ，　プルダウンのあたりが分からずに勉強中です．
デジタル回路ではよく聞く言葉ですが．．．．

補足

ありがとうございます．
保護膜等はございません．
プローブ形状の問題なのですね．
てっきり抵抗が高すぎて計測不可能なのだと思っておりました．
もっと高抵抗のものをはかれる計測器が必要ではないのでしょうか．

約150～300Ω/◻くらいのシート抵抗です．

回答No.1

noname#230359

＞膜厚は１５０ um

“um”は、マイクロメートルですか？
　そんなに厚付けすることがあるのでしょうか？

補足

失礼いたしました，１５０ nmでした．
umはマイクロメートルです．