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エキシマレーザと固体レーザ
エキシマレーザと固体レーザの3倍波、4倍波は何か使い分けがあるのでしょうか？ どちらも微細加工に適しているというのがうたい文句のようですが、どの辺に違いがあるのか教えてください。
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エキシマレーザーは、短波長で大出力が出せる反面、コヒーレンシーが低いこと（これはメリットとデメリットの両側面があります）、有毒ガスを使うことが多いので安全性のリスクがあることから、固体レーザーの高調波を好む場合があります。一方固体レーザーの高調波は、効率が低下し、大出力が得難いという面もあります。 結局、用途に応じて使い分けることになります。
お礼
ありがとうございました。 エキシマはFBG作成に使うのでコヒーレンシーが高いと思っていました。 固体レーザーの場合は高調波デバイスを絡めるからアライメントが難しいんでしょうね。 よく理解できました。ありがとうございます。