素人でもわかるスパッタ

質問

素人でもわかるようなスパッタの原理とかが
載っているホームページを探しています。

高校生ぐらいにでもわかるようなものがあれば嬉しいです。
よろしくお願いします。

回答No.2

noname#3359 · ベストアンサー

探した結果
http://mos.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/
のサイトが1番わかりやすかったですよ。

お礼

ご返事が遅くなって申し訳ありません。

イオンガンの原理とかも図付きで丁寧に書かれていてわかりやすかったです。
あと、できればもうちょっと詳しくのっていて、理論的なものとかあれば嬉しいです。（スパッタ収率のことなど）
よろしくお願いいたします。

回答No.1

taknt

以下のサイトでわかるかなぁ？

http://www.linkclub.or.jp/~shiiki/ionindex.html
http://www.tsuyama-ct.ac.jp/nakamura/kenkyu/node4.html

お礼

いろいろ調べていただいてありがとうございました。

たしかに高校生レベルで説明するのって難しいですよね。
もうちょっと詳しくのっていて、理論的なものとかあれば嬉しいです。（レベルは関係なく）
何かいいホームページを見つけたらよろしくお願いします。