スパッタの結晶構造について

質問

はじめまして。スパッタについて質問します。
スパッタで成膜される薄膜の結晶構造は、化合物ターゲットの結晶構造と変わらないのでしょうか。

例えば、TiO2を化合物ターゲットを用いてスパッタする場合、ターゲット自体がルチル型であれば
成膜されるのもルチル型のみなのでしょうか。教えて下さい。

回答No.1

Massy57 · ベストアンサー

基板材質、基板温度、成膜条件等によって成膜する被膜の結晶構造はことなると思います。
チタニアのスパッタでの成膜でも、ルチル型チタニアをターゲットにしてもアナターゼ型の膜を得る方策がないとはいえないはずです（逆にアナターゼをターゲットにしても必ずアナターゼが成膜するわけではない）。
（ダイヤモンドをターゲットにスパッタ成膜しても必ずダイヤモンドが成膜されるとはいえませんね。多分アモルファスダイヤモンドの成膜が精一杯のはずですよね　逆にグライファイトをターゲットにスパッタ法で成膜すると、成膜条件を選べばアモルファスダイヤモンドまでは成膜が可能です　ダイヤモンドが成膜可能というと少し嘘くさい）。

お礼

回答ありがとうございました。
やはりルチル型ターゲットでも、アナターゼ型の膜が得られる可能性はあり得るのですね。

ということはX線回折などの結果で、どのような結晶構造の膜ができたか判断するしかなさそうですね。