アニールについて

質問

TFTのアモルファス部分に熱アニールをするメリットを教えてください！！結晶性をあげて移動度の向上やキャリア密度の低下を目的としているのではないかと思うんですが、それならはじめからアモルファス材料など使用せずに、結晶性の高い材料を使用すればよいのではないのでしょうか？？そのような点も踏まえて回答よろしくお願いします！！

回答No.1

sanori · ベストアンサー

こんにちは。

最初から結晶性の高いシリコンを形成するには、
ガラス基板ごと高温の装置の中で成長させないといけませんが、
それでは、融点の低いガラスが融けたり変形したりしてしまいます。

ですから、アモルファスシリコンをまず低い温度で堆積しておき、次に、ガラスが「高温になったのに気づかない」うちに（つまり短時間で）結晶性を高めることができる熱アニールを行う、という手順が採用されています。