ロータリーポンプの注意点？？

質問

真空装置を扱っていて、チャンバー内が低真空状態だったのですが、もっと真空にしたくてロータリーを機動し荒引きしようとしたんですが何か液体が流れる音がしてきました。
チャンバー内が低真空でロータリーを機動したらロータリー内の油が逆流したりなんてするんですか？？
回答待ってます！！

また、ロータリーを扱う上での注意点などあればよろしくおねがいします！！

回答No.1

fine001 · ベストアンサー

特にポンプに詳しいわけはありませんが・・・
質問文から判断すると、いったんロータリーポンプで引きチャンバーが低圧状態にあったときに一旦ロータリーポンプを停止し、その後再び起動したと言うことでしょうか？
低圧に引いた状態で、オイル式のロータリーポンプを止めるとオイルはチャンバー内にゆっくりとですが流れ込みます。ロータリーポンプを止めるときは、チャンバーを密閉した後、ポンプの吸気側を大気圧に戻しておくのが普通だと思います。
チャンバーにオイルが流れ込んだり、蒸気が入ったりすれば、以後真空に引こうとしてもチャンバー内にオイルの蒸気が発生するのでうまく引けなくなるのでは？

お礼

そうなんです。一度停止して、次の日にもう一度機動させたのですが、これはまずいのかなと・・・。

注意点ありがとうございます！！参考になります！！