高真空下での装置とは

質問

装置を開発しているものです。
今回、初めて高真空（絶対真空の近く）のなかで、いろいろな動作を行う装置をやることになりました。高い真空のなかでものを動かすとき、注意する点等まったくわかりません。また、やはりアクチェーター等を中に入れられないので、外部などからシャフト等にて動かそうと思いますが、いいシール材、Oリング等ありましたら、合わせてご教示ください。お願いします。

回答No.4

noname#230359 · ベストアンサー

100Pa程度は高真空では無いですよ。
高真空は0.1Pa以下の事。
この位の圧力ならば、なんとでもなります。
でも、アクチュエータを真空中に入れるのは難しいですね。
導入端子は市販でもありますが、
どんな仕様かにも寄りますが、
Ｏリングでシールさせる位でも充分です。
熱の問題が無ければ材料はＮＢＲで充分。

日本真空工業会のＨＰで、
製品別に検索が出来ますよ。

参考URL：

http://www.jvia.gr.jp/j/index.html

お礼

参考にします。ありがとうございました。

回答No.3

noname#230359

100Pa以下であれば、比較的
シール材、Ｏリングの選定は
楽かと思います。

ただ、真空ポンプの能力次第の
ところもあります。
予算的に余裕があるのでしたら
ターボ分子ポンプを選定されては
いかがでしょうか？

お礼

ありがとうございます。参考にさせて頂きます。

回答No.2

noname#230359

最近は真空関連が頻繁に使用されるようになってきました。
真空関連メーカーを列挙しておきます、検索エンジン
で検索してみて下さいメーカーは以下です
日本真空、エドワーズ、アネルバ、ダイア真空
バルカー
これ位です

お礼

ありがとうございます。早速参考にします。

回答No.1

noname#230359

具体的な、真空度をいっていただけると
色々アドバイスできると思います。

Ｏリングについてですが、一般的には
フッ素ゴム系（Viton）で十分と思いますが
高温下であればカルレッツがよいかと思います。
それと摺動部には”真空グリス”用いたほうが
無難と思います。

補足

回答ありがとうございます。
具体的な真空度は100Pa以下（絶対真空から）です。
どんなちいさなアドバイスでもいいので、あつかましいですがお願いします。