III-V族結晶成長について学べる本を探しています

質問

III-V族半導体結晶成長の基礎が学べる良書を探しております。

液相成長というよりは、
特にMOVPE(MOCVD)成長、MBE成長に関するものを探しています。

これまで私は結晶成長に携わったことがなく、ほとんど素人ですので、
基礎から詳しく記述されている本があれば、
ご紹介いただけないでしょうか。
宜しくお願いします。

回答No.1

masudaya

アマゾンで見ると

3‐5族化合物半導体 (アドバンストエレクトロニクスシリーズ)
単行本: 350ページ
出版社: 培風館 (1994/05)
ISBN-10: 4563036013
ISBN-13: 978-4563036010
発売日： 1994/05
商品の寸法: 21.4 x 15.2 x 2.6 cm

があります.すでに絶版なので,古本か図書館で探すしかないようです.

お礼

早速回答有難うございましたm(__)m
まずは図書館で見てみたいと思います。