セラミックの膜について

質問

セラミック（酸化物）の膜を成膜する際の問題点などを教えてください。

回答No.1

u-don

もう少し詳しく書いていただけるといいんですが。。
金属に酸化皮膜が出来た際の問題点っと言うことでしょうか？
それとも酸化皮膜が形成されるまでの過程(酸に浸すなど)にある問題点のことでしょうか？

補足

すみませんでした。例えば、Siウェハーの表面上にセラミック薄膜をのせる際の問題点を教えてください。