大阪大学でのモノシランガス爆発

質問

http://shippai.jst.go.jp/fkd/Detail?fn=0&id=CA0000614
で事故が起きてますが、
この装置をはどこのメーカーのものだったんでしょうか？

回答No.2

a-saitoh · ベストアンサー

もう10数年も前のことですから。知ってる人も少ないでしょう。
僕は事故のその瞬間は現場の東方50mくらいのところで居たのですが、学科違いなのでどの業者が納入したとかは知りません。

しかし、そもそも業者の責任ですか？案外、大学側が配管図を作って「この通り作ってくれ」と要求してたりして？と想像します。
CVD装置の配管じゃなくて、装置とボンベとを繋ぐ配管の問題ですよね？

僕はクレーン車が倒れて地面が揺れたのだと直感的に思ったのですが、プロレスの地雷マッチによく行ってた奴は、爆発だとすぐに判ったようです。

お礼

事故現場の近くにいらっしゃったんですね。
恐縮です。

＞案外、大学側が配管図を作って・・・
そう言われてみれば、そういう可能性も十分にありますね。う～む。

＞CVD装置の配管じゃなくて、装置・・・
そうだったと思います。

やっぱり、こういった半導体関連の会社で働くのは危険なんですかね？

この研究室の教授？達はどうなったんでしょうか？
研究室の現状はどうなんでしょうか？　
何か、特別な委員会でも設置されたりとか改善はあったんでしょうか？

こういうことを聞いても自分にはどうすることも出来ないと思うんですが、何かしら、プラスになればと思っています。

それとも、ミイラ取りがミイラになってしまう？っていうんでしょうか？
こういう被害にあわないには、半導体関連の会社に首を突っ込まないほうが無難な気もして、複雑な心境です。

回答No.5

a-saitoh

そうでしたっけ？

事故が起きたときには、「1つの部屋に、ボンベがあってCVD装置があって操作する人間もそこにいて、というのは民間企業だと禁止なんだけど、国立大学なので規制の網から洩れていた」みたいな話が学内で流通していましたもので。

ま、どっちにしても、CVD装置装置を扱う職業が死の危険と隣り合わせかどうかというと、そんなことはないと思いますよ。
阪大の爆発以降、他の大学や企業でCVD装置がらみの爆発での死亡事故がマスコミで報道された記憶は僕にはないですが。

お礼

アドバイスありがとうございます。

学内で結構、話題になったんですね。

うーむ。。。　

CVDって危険なガスはよく使うんでしょうか？
危険でないガスものも使うのかな？と思うんですが、どうなんでしょう？
モノシランガスって今でも使ってるんでしょうか？
(Ｔ＿Ｔ）

回答No.4

leo-ultra

> CVD装置は遠隔操作しかしてはいけないことになっているはずです。

それは阪大または大阪ローカルルールだと思います。
法律で大枠の規制は決められていますが、細かな部分は県が施設の申請を受けるときに決めます。だから、ローカルルールはまちまちのようです。法律でOKでも、県庁が危険だと判断した場合は、県庁の方針に従うはずです。

確かに規制は厳しくて、ボンベは特別の箱に入れて、始終ガス漏れ警報機で監視してますが、たまに特別製の箱を開けてボンベを開閉することもあります。遠隔操作ではありません。
（開く時は気合が必要で、「ちぇすと！」と叫ぶのが私どもの施設では慣例になっていますが。）

お礼

参考意見ありがとうございます。

高圧ガスなんとか。。。っていう法律なんでしょうか？
開閉するときは、ガスの種類とか配管がどのようになっているか
とか、わかるのでしょうか？
わかるように表示などあるんでしょうか？
ボンベの開閉する人は危険性はわかっているのでしょうか？

阪大の被害者の方は、知識は全くなかったのでは？と思います。

回答No.3

a-saitoh

現在では法律が変わって(当時も法律はあったが国立大学が対象外だった)、CVD装置は遠隔操作しかしてはいけないことになっているはずです。
なので爆発がもし起きても近くに人間は居ません。

この事故がきっかけで、国立大学でもちゃんと規制されるように変わったと聞きました。

回答No.1

a-saitoh

どこかのメーカーと言うことはないと思いますが。。。

実際に事故が起きたのは配管とモノシランガスボンベですよね。配管は施工業者が作ったもの。ボンベはどこかのボンベメーカーのもの・・では？

お礼

設計がまずかったらしいです。

パッキンの劣化ガスが逆流、ガスが混合されて。。。
とかだったような。。。

で、その設計したメーカーがしりたいです。
でも良く考えると、知っている方でもいいにくいのかな？
と思います。