半導体製造装置

質問

http://shippai.jst.go.jp/fkd/Detail?fn=0&id=CA0000614
や、
http://shippai.jst.go.jp/fkd/Search?kw=%C8%BE%C6%B3%C2%CE&op=0&fn=1&dt=0&bt=1
を見ると、事故が起こってます。

不安に思って、検索すると
http://www.science-forum.co.jp/books/0238.htm
といったものがありましたが、
他に、こういった事故を防止する為に有益そうな書籍や、有益そうな方法があれば教えて欲しいです。

回答No.1

nature345

こんにちは　紹介されている記事URLはかなり古いですね。
今2007年で１９９７年頃に起きたことはもう解決してるでしょう。
また、対策案などは当事者で部外者には秘密でしょう。

　経験ですが、海外生産のICが水の汚れで数百個ですが
２、３日で処理が終わりました。

　防止策は各社極秘では無いかと思いました。