半導体のウェーハの結晶方位について

質問

はじめまして。
ウェーハには結晶方位があり、１１１面、１１０面、１００面があると聞いていますが、これは１枚のウェーハに３つの結晶方位があるのですか？
※Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸みたいな感じ？？？
それとも１１１面のウェーハ、１１０面のウェーハ、１００面のウェーハがあって、１枚につき、結晶方位は１つなのでしょうか？
よろしくお願いします。

回答No.1

sanori · ベストアンサー

シリコンウェハで言うところの結晶方位というのは、ウェハ表面ないしは法線に対する方位を示していて、それは１通りだけです。
１１１面のウェハ、１１０面のウェハ、１００面のウェハがそれぞれ別々に販売されています。
かつては、５１１面のウェハも使われていました。

「１１１面、１１０面、１００面」という言葉自体は、単に、１つの結晶を色々な角度から見たときの結晶方位を表すものです。
ですから、結晶状態にあるものには、すべて、１１１面、１１０面、１００面、５１１面、そのほかにもたくさん（無限に）あります。

お礼

ご回答ありがとうございます。
すごくわかりやすかったです。