薄膜抵抗変化の抵抗増加の判断について
多結晶金属合金薄膜抵抗の熱処理前後の抵抗変化を測定しています。多結晶金属合金薄膜は、厚さ10nmでSi基板上のCVD酸化膜に挟まった構造になっており、Al配線、Auワイヤーを介してリード端子(鉛フリーはんだめっき付)につなげています。その後、リード端子以外はエポキシ樹脂で封ししました。抵抗値200Ω、500Ω、1000Ωの3種類で断面積は同じで長さで抵抗値を調整しています。
質問ですが、大気雰囲気で180℃5時間の熱力処理後、常温で抵抗値を測定すると3種類の抵抗値がそれぞれ約2%高くなりました。即ち、200Ω→204Ω、500Ω→510Ω、1000Ω→1020Ω程度になりましたが、同時にリードの酸化が起きている事が確認され抵抗増加が多結晶金属合金薄膜の抵抗増加なのか、リードの酸化によるものか区別できなくなって困っています。リードの酸化なら異なる抵抗値に関係なく同じ抵抗値が増加すると考えていますがどうでしょうか。また、測定系のバラツキは一定量あると考えられますが、抵抗値に依存して測定系のバラツキも大きくなるのでしょうか