- ベストアンサー
AR膜ってどんな膜ですか?
AR膜ってどんな膜ですか?電気関係材料だとおもいます。 液晶TVの保護膜かでしょうか? 反射防止フィルムでしょうか?
- みんなの回答 (2)
- 専門家の回答
質問者が選んだベストアンサー
> 反射防止フィルムでしょうか? ご明察。 Anti-Reflection Coating です。 屈折率の異なる透明材料(MgFなど)を多層蒸着したものが一般的です。
その他の回答 (1)
- microftxxx
- ベストアンサー率54% (13/24)
回答No.2
半導体の分野ではリソグラフィーにも使います。 ARCとかARL(Coating or Layer(海外ではこちらが多い))と呼ばれます。 半導体の基板の最上層がメタル等で反射を持つ場合、下からの照り返しで現像が思う通りにできません。そのような場合、基板//反射防止膜/レジストのようにコーティングするのです。以前はカーボンを使っていた時代もありますが、今は有機系の高分子です。
補足
干渉させて反射を防ぐのですか?