プラズマエッチングについて

質問

最近、半導体にプラズマエッチングを施すということをよく聞きますが、プラズマエッチングとは、そもそもどのような加工になるでしょうか。

また、話が変わりますが電子放出についてもご意見がいただきたいです。電子放出とプラズマの関係を教えてください。

回答No.1

leo-ultra

あまり詳しく知りませんが、

通常、真空容器に半導体を入れ、高周波印加などでプラズマを発生させます。

プラズマの中では電子やイオンがいきおいよく動き回っているので、これが半導体の表面に当たると、半導体から原子をはじき出します。（スパッタリングという現象）　この現象が何度も起これば、半導体が削られていきます。

＞電子放出とプラズマの関係
あまりにも漠然とした質問で回答しようがありません。どのくらい漠然としているかと言うと「光と物質の関係を教えてください」くらい漠然とした質問です。

お礼

ありがとうございます。
プラズマエッチングは半導体加工のひとつであると考えればいいんですね。
参考になりました。

電子放出の件ですが、私のあまりの知識のなさを露呈した質問をしてしまい申し訳ありません。
もう一度自分自身で確認してみます。