プラズマから守りたい・・・

質問

こんにちは。今、半導体用のゴムシート(フッ素ゴム)を
コーティングすることでプラズマから保護したいのですが、
どんな樹脂で保護するのがベストか、どなたかご存知ないでしょうか？
また、そんな製品はありませんか？
ご存知の方、教えてください。

回答No.3

samashi

ポリイミドがいいと思います。耐熱性・高純度性が優れていますが、価格がちょっと高いのが難点ですね。製品名はわかりかねますのが、フッソコーティングのメーカーで調べてみるのも手かな？と思います。

回答No.2

k-fon

フッ素ゴムはコーティング剤の”のり”が悪そうなので、他の方法を考えたほうが良いと思うのですが。

真空気密シール等の目的でどうしてもフッ素ゴムを使用する必要があるのなら、直接的な解決策ではないのですが、フッ素ゴムシートとプラズマ源との間にＳＵＳ等の遮蔽板を置く構造にしたらどうでしょうか？

もしフッ素ゴム使用の目的が真空気密シールならば、これをメタルＯリングに変更すれば簡単に解決できそうですが・・・

参考URL：

http://www.valqua.co.jp/

回答No.1

anisol

あまり詳しくないのですが、フッ素ゴムは耐熱性・耐薬品性に非常に優れていますよね。これより優る樹脂はそうないと思うのですが…。またフッ素ゴムは非接着性でコーティングは難しいような気がしますが、どうなのでしょうか。