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エッチング加工について

ステンレスのエッチング加工についてですが、エッチングの深さを0.5mm~1.0mm位にしたいのですが ウエットエッチングではそこまで深くエッチングできないようで、他の加工方法を探しています。 プラズマエッチングというものがあると聞いたのですがどのようなものなのでしょうか? ネットで色々調べたのですが思うようなのが見つからないのでよろしくお願いします。

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回答No.1

ウエットが液体でエッチングするのに対し、プラズマエッチングはプラズマで、ガスを反応性気体にしてエッチングします。 当然、エッチング量は少なく、10~100オングストローム/時間 程度です。 ドライエッチングの一種で、ICの製造などで薄膜をエッチングするために使われています。 とても、ステンレスを1mmも加工できるようなものではないです。 ちょっと加工費が高いですが、レーザー加工などをあたってみたらいかがですか?