アクチュエータについて

質問

アクチュエータについて質問があります．まず，空気圧式アクチュエータでは最小の押し込み圧力はどの程度まで制御可能でしょうか？また，静電アクチュエータは製品化されていますでしょうか？探しても見つかりません．どなたかご存知でしたら教えて下さい．よろしくお願いします．

回答No.2

tshot

私もどのような目的（使用方法）かわからないので
一般的な話ですが。

>空気圧式アクチュエータでは最小の押し込み圧力はどの程度まで制御可能でしょうか？

空気圧機器の大手のSMCのサイトによると、直動精密減圧弁で±0.003ＭＰａの
繰り返し性があるそうです。

３センチのシリンダー径に0.5ＭＰａかけると出力が３５．４ｋｇにたいして
±0.25ｋｇで制御できることになります

http://www.smcworld.com/2002/webcatalog/index.htm

答えになってますか？？

参考URL：

http://www.smcworld.com/2002/webcatalog/index.htm

補足

ご回答ありがとうございます．使用目的は旋削で工具に定圧をかけるために使用したいと考えています．押し込み力としては，1mN程度の力をかけたいのです．そこで小さい押し込み圧力をかけられるアクチュエータを探しています．

回答No.1

nzw

どのような用途に用いられるのかわからないので、
どの程度の範囲で、どの程度の制御をしないといけないか
わかりませんが、光学干渉計のようにナノメーターレベル
の位置制御が必要な分野では、ピエゾ式アクチュエーター
が一般に用いられています。
ピエゾ　アクチュエーターで検索すれば、いくつかの
取り扱いメーカーがすぐにヒットするはずです。
以下に、とりあえず２メーカーのサイトをあげておきます。

http://www.matsusada.co.jp/pzt/index.html

http://www.s-sl.co.jp/product/close_stage/index.html#piezo