圧電アクチュエータの正弦波運動制御

質問

圧電アクチュエータを正弦波運動させたいと思っています．周波数は40～100Hzで，精度は1ミクロン程度で，フィードバック制御をしたいと思っています．
　必要な制御機器を教えてください．

回答No.2

大明神（@bathbadya）

かなり高速の動作なのでフィードフォワード制御の方が良いように感じますが・・・　最近はフィードバック制御（フルクローズド制御）自体があまり使われていないのでかなり特殊になりそうです。

回答No.1

esezou

hide2066 さん、今晩は。

圧電アクチュエータにフィードバック制御用電極があるという前提で、
高電圧アンプ（ドライバ）、オペアンプ、正弦波発振器

１ミクロンの精度を出せというのに回答するためには、圧電アクチュエータの仕様が判らないと出来ません。

補足

esezouさん，返答ありがとうございます．
私の説明不足でした．使用している圧電アクチュエータはスタックタイプで，フィードバック制御用電極などはなく，圧電素子に絶縁コーティングが施されているだけです．また，公称ストロークは２０ミクロンのものです．ピエゾメカニクス社のものです．