PCVD ってなんですか？

質問

”熱間工具鋼（ＳＫＤ６１）にＰＣＶＤする”と加工屋さんに云われました。セラミックコーティングのＰＶＤ法の事と思っていたのですが資料をみてもＰＣＶＤとは書いてありません。温度条件からＣＶＤ法ではなさそうです。そもそもＰＣＶＤとは何の略でしょうか？プラズマセラミック？？？？？　詳しい方何とぞよろしくお願いいたします。

回答No.1

noname#230359

ダイヤモンド薄膜合成
【概要】
ダイヤモンドは他の材料にない、またはより優れている物理的、化学的特性のために宝石のみならず機能材料として注目を
浴びている。特に、低圧気相合成法により膜状ダイヤモンドが合成できるようになり、様々な応用の実現が可能となってき
た。熱、電子衝撃、プラズマなどを用いたCVD法、イオンビーム法など様々な気相合成法が次々に開発されてきた。最近で
は、これらの合成法をさらに発展させた原子蒸着法、プラズマジェット法などが研究されている。
また、気相合成法により合成されるダイヤモンド膜の応用に関する研究も盛んにおこなわれており、産業分野への応用例と
しては、半導体素子、光学部材、機械部材、電熱部材、音響部材などへが挙げられ、日々研究がなされている。研究の課題
としては、不純物や欠陥を制御した良質な結晶生成、基板との密着強度の向上、コストの低減化、成膜温度の低減化などが
挙げられる。

お礼

丁寧な御説明有難うございました。その後の調査でＰＣＶＤはプラズマＣＶＤ法と呼ばれており回答者殿指摘のダイヤモンド薄膜のほか、TiN,TiAlN,TiCN,Al2O3等又はそれらの多層膜の超硬質セラミックスコーティング処理ということがわかりました。