【半導体工場】 アニール酸化 って 酸化 とどこが違うの？！

質問

半導体工場製勤務のかたにお尋ねします。
アニール酸化って酸化とどこが違うのでしょう？！

回答No.1

sisya · ベストアンサー

質問を読んで気になったので検索しました。
http://okweb.jp/kotaeru.php3?q=414901
ここらへんが参考になりませんかね？

リンク先を読んでみた限り、
「アニール処理を行ったあと酸化処理を行う」
…と言う事なのでしょうか？