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半導体
半導体生産のスパッタ工程の勤務に携わってますがよくチャンバー内でウェハーが割れます。どうしたらいいのかお手上げ状態なので質問してみました どうかいい解決策をご存じの方がいましたらご伝授させてください お願いします
- hama4011
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noname#194317
回答No.1
それって企業秘密に類するノウハウじゃないですか？工程起因なのかウェハのハンドリングに起因するか、まあどっちかなんでしょうけど、教えれば他社を利することになります。このような場で教えてもらえるとは到底思えませんし、仮に何か回答が付いたとしても、ガセネタ（あるいは親切ごかしに妨害）かも知れません。 質問者さんが工程担当なら、装置メーカーに文句を言えばいいでしょうし、装置メーカーのエンジニアと言うことだと、自力で頑張ってねとしか申し上げられない。
お礼
あつ。そうですね 何でも相談室に初投稿なので肝心なことを忘れてました 相談室ということなので回答いただけると思ってましたが ネットというだれでも閲覧できることを忘れてました 質問自体を削除したいのですがわからないのでこのままにしときます siremono2496さん。ありがとうございました