半導体工場の汚泥処理について

質問

半導体工場で半導体製造時に発生する汚泥（特にフッ素汚泥、有機汚泥）について処理方法をどうしているのか教えて下さい。

回答No.1

shoyosi

シリコンウエハの研削・研磨粉を含む排水を処理するのでしたら、ろ過方式が一般的だと思います。

参考URL：

http://nmc.nikkeibp.co.jp/news3/n9594.html