半導体製造用露光装置について

質問

光源（超高圧水銀ランプ）はテレセントリックエラーに関係があるのでしょうか？それともテレセントリック光学系の問題なのでしょうか？突然、変な質問で恐縮ですが少し
困ってます。皆様よろしくお願い致します。

回答No.2

nrb · ベストアンサー

光源の軸調整X-Y方向で行うと
エラーはでなくなるのですが

正常ならそうですよね
光源（超高圧水銀ランプ）は点光源（に近い）ので光が拡散しないで
　調整すればテレセントリックレンズにより露光点に合うわけで・・・・・・・

　でもこれってめちゃ精度が居るわけですから
　使う前には精度を求める為に調整しないといけない可能性が・・・・・・・
　その辺取り説はには記載無いですか・・・・

　記載が無いなら
　何かかの原因で位置がずれている
　ネジの緩みとか・・・・
　光源（超高圧水銀ランプ）を入れ替えた再に取り付けるものを入れないで取り付けたとか・・・・・・・

　質問を
　ウエハウスに露光する時の最少の配線の太さはどのくらい何でしょうかね・・・・

　○○○μｍなんですかね
　機械の解像度も

　あと
　現象は最初からおきてたのか
　最近起こったのか

　でも思うんですが
　納入したメーカに聞くほうが早い気が・・・・・

お礼

色々とありがとうございました。
最近起きた現象です。
従来と取りつけ方法を変えたわけ
ではないのですが、光源が純正で
ないので、メーカーに聞けなくて…。
でも、光源のほうが怪しいですね。
参考になりました。
ありがとうございました。

回答No.1

nrb

たぶんこれかな・・・・・

　単純に光源（超高圧水銀ランプ）取り付け方が悪い
　超高圧水銀ランプは常に垂直に取り付けて使用しますが、ちゃんと付いて無いと高原が変な向きへ行ってしますので露光が出来ななる

　光源不足かも　寿命かな

　安定するのに暇かかりますので安定して無いときに使用した

補足

ご回答ありがとうございます。
光源の軸調整X-Y方向で行うと
エラーはでなくなるのですが
そのまま数日間経つとまたもや
エラーになります。
軸調整すると、当然照度は上がる
ので光量不足とも思えなくて…。
あと、１５分程度で安定するので
これも考え辛い状況なのです…。
色々とすみません。