AFMの原理について教えて下さい。

質問

プローブと、試料表面の間の原子間力で凹凸を計っているという大雑把な原理しか分かりません。
どなたか詳しい方、宜しくお願いします。

回答No.1

pinkymonkey24 · ベストアンサー

詳しいほどではないのですが、一応使っていたので…

ＡＦＭは、カンチレバーと試料表面の間に働く原子間力が一定になるように試料表面を走査させることで、表面の凹凸をはかっています。そして、その力はカンチレバーの変位で検出します。カンチレバー背面にレーザーを照射すると、カンチレバーは表面の凹凸にあわせて動いているので、ディテクタに入ってくる反射光が変わってきます。このときの光量か角度かちょっとよくわかりませんが、変位量を測って凹凸を観察しています。

でも私が説明するより、下のＵＲＬ見てくださった方が早いかも知れませんね。

参考URL：

http://www.nanoelectronics.jp/kaitai/spm/4.htm

お礼

ありがとうございました。

回答No.2

kenojisan

No1の方に補足。
私も単なるユーザーでそれほど詳しくは無いですが。
あらかじめ、カンチレバー背面から反射されたレーザー光が、４分割した検出器の中央付近に来るように調節をしておきます。つまり、４検出器の検出光強度が等しくなるわけですね。
そして、実際に試料表面をなぞって原子間力を受けてカンチレバーが僅かに動くと、その４個の検出器にはいるレーザー光の強度が異なってくるのを、検出する仕組みだと思います。