半導体マスク材上成膜の簡単な方法と熱ダメージを与えずに観察する方法

2020/12/23 20:50

このQ&Aのポイント

半導体のマスク材に無傷の状態で観察するための簡単な方法として、保護材を使用した成膜があります。
保護材をマスク材の上に均一に塗布することで、スパッタリング反応や熱ダメージを防ぎながら観察することができます。
この方法は経費もかからず、マスク材の樹脂を保護しながら観察するため、非常に効果的です。

vexille_922
お礼率0% (0/1)

化学
回答数1
ありがとう数0

みんなの回答 （1）
専門家の回答

みんなの回答

TIGANS
ベストアンサー率35% (245/681)

2020/12/24 00:02 回答No.1

高分子をダメージ無く加工するような都合良い解決は無理です電子ビームはともかくFIBやスパッタとは相性悪いでしょう。 (1)線量を減らして温度上昇を抑えその蓄積(露光)時間を増やす (2)断面解析であればメッキ処理により放熱層をつくるなどを工夫するしかないのでは？解析の方法にもよりますが、斜めにスライスすることで SEMでもTEMのように断面解析もできます。