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低～中耐圧で耐食性のある小型電磁バルブを探してます
- 1MPa以上で作動する小型の電磁バルブを探しています。
- 使用液体が若干腐食性であるため，ボディやシール材はSUSやフッ素系であることが望ましいです。
- また流す流量が少ない都合上，バルブ内部の容積が小さい方が助かります。Cv値は小さくても構いません。
- 機械設計
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回答(3)続き 真空中有りますがどの程度なのでしょうか。 真空中だと断熱環境となりコイルの耐熱温度を超えやすくなるので 電磁弁の使用は相当厳しいと思っていた方が良いです。 水冷ブロックを密着とかで強制冷却が必要になると思っていた方が良いかと。 また、コイルからの脱ガスが多く、真空度維持にも注意が必要です。 一応、パーカーハネフィンがパルスバルブとして出している物が うまくすれば使える可能性が無くもないといったところでしょうか。 他には、Swaqgelok Hシリーズの手動型やDPシリーズからハンドルや シリンダを外して真空外から駆動出来るようにアクチュエーター部を 自作するとかも出来なくはないといったところでしょうか。 反応速度遅くて良いならバルブのアクチュエーターを真空用モーターで 動かす無茶技とか… それなりに大きくなってしまいますが… 差動排気チャンバーを作ってその中でエアオペレートバルブを使った方が 簡単かもしれません。 ケイヒンのバルブで無理なら厳しいでしょうが… とりあえず真空中で1MPa以上の圧力の開閉は市販品では無理で 自力開発となると思います。 真空光学は結構上記のような奇特な物でも作ってくれる可能性は 有ります。 回答(4)は何が言いたいのか誰か教えてください。
再出です。 詳しくは記載できませんが、真空チャンバーでググってみて、YOU TUBE で構成部品を 確認してみてください。（URL記載メーカー資料等でもです）
確認ですが電磁弁であることが必要ですか。それとも遠隔操作できるバルブであればいいのでしょうか。 一般にソレノイドでは弁体駆動力が小さく、電磁弁はあまり種類がありません。 駆動力を大きく取れるエアオペレートバルブであれば種類が豊富になります。 電磁弁限定の場合はケイヒンあたりに相談してみてください。 (SSPDシリーズが該当？SUS製直動電磁弁20MPaまで対応) 後はSMC,CKDの出している高真空用電磁弁（XSA、HVB）が使用圧力1MPaまでですが 耐圧はもっとあるので無理やり使用するとかでしょうか。 エアオペレートバルブでよいのならば以下の様になります。 耐食性・微流量ならピンチバルブが一番ですが1MPa越えでの使用は相当に困難と思われます。 次点でダイアフラムバルブがデッドスペースが小さいです。 Swagelok、フジキン、Kitz SCT、SMC、CKDなどがSUS316ボディ、PTCFEシートのバルブを出しています。(パーカーハネフィンもあるけど日本語情報少ない…) 種類が多すぎてどれがいいとかはわかりません。 「プロセスガス バルブ」などで検索するといいと思います。 高温加熱が必要ならSwagelok Hシリーズみたいなベローズバルブを選択することになると思います。 回答(2)はさすがグランドモンスター、1.0MPa以上で使用と明言しているのに 耐圧で1.0MPaのバルブ紹介してるよorz
耐酸性等がある半導体関連バルブが適していると思います。 また、濃度管理の微量滴下用バルブも、ニッチなメーカーと商品ですがあるので検索してみてください。 オーソドックスなバルブは、CKDやSMCの半導体や医療用バルブ類です。 ニッチな商品は、東横化学やフジキン、等々です。 半導体＆微量滴下 の用語で検索してみてください。 半導体 薬品バルブでも。 http://www.ckd.co.jp/newproduct/newproduct/cc1015.htm ↑ CKD 薬液用エアオペレートバルブ http://www.smcworld.com/products/ja/chemical/s.do?ca_id=282 ↑ SMC 薬液用エアオペレートバルブ（SMCが後発メーカー） テフロン バルブ メーカー で、ニッチ商品を貴殿で検索してください。 耐圧に問題が生じる場合は、オプション設定を確認ください。 そのでも問題であれば、フジキンのバルブを確認ください。 最近は、半導体の需要が減っているので、オプション設定がなくなっているかもしれません。 フジキンさんも同様ですがね。 確か、生きた化石みたいなエアオペバルブを、フッ素樹脂でモールドして使用しました。 昔は、成長産業の半導体なんで、無理を聞いてくれましたが、今は？です。 フジキンへも、スペックを出して、液晶等への対応バルブを製作してもらいました。 （部下が、先走り、少し迷惑かけた、いわく付きバルブですが。）
遅くまでご検討されていた様でご苦労様です。 KITZさん等のバルブメーカに聞いたほうが良いです。 理由はバルブの選定に必要なデータがおわかりになるであろうと思われるからです。 バルブメーカが問い合わせる項目は、私達が回答する上でも必要なデータです。 液体か気体か バルブ型式希望は CV値が小さくて良いではなく最大流量は 腐食性流体は 電圧は 両端取り合い形状は 等々が必ず必要になります。 一度ご経験下さい。
補足
ケイヒンのバルブ，確認してみましたがサイズが大きすぎ使用不可っぽいです。 バルブですが真空槽内に設置して使うため，エアオペレートは極力避けています。