ＳＥＭ観察

質問

銅箔の表面をＳＥＭ観察しようと思っていますが、うまく見られません。
ただステージの上に銅箔を導電テープで固定しています。どうしたらいいでしょうか？

回答No.1

noname#230359

他の試料は十分に観察できているものとします。もしそうでなければ、装置側あるいは設置環境に何か不具合があるのかもしれません。
電解銅箔の観察は私も苦労しましたが、最初から試料台を傾けてフォーカスの当たりをつけて、それから徐々に所望の角度にすると解決しました。銅箔表面が平滑なため、フォーカスをあわせるポイントが見つけられないことに由来します。傾けることで、微妙な凹凸が強調され、ポイントが絞りやすくなります。
市販の銅箔の表面に有機防錆膜とか乗っていませんか？有機物があるとチャージアップしてうまく見られません。対策としては（１）金属を蒸着する（２）防錆膜を落とす（３）加速電圧を落とす（４）低真空で観察するなどがあります。
お役に立てれば幸いです。

お礼

遅れてもうしわけありません。
非常に役立ちました。20000倍で撮れるようになりました。