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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SEMの原理）
SEMの原理とは？原子番号の低いものを見るための条件は？
このQ&Aのポイント
- SEM（走査型電子顕微鏡）の原理とは、高速で走査される電子ビームが試料表面に当たり、その反射電子や二次電子を検出することで試料の表面形状や構造を観察する技術です。
- 原子番号の低いものを見るためには、低い加速電圧が必要です。SEMでは、電子ビームが試料との相互作用によって反射電子や二次電子を発生させるため、そのエネルギーが試料に与える影響が少ないほど、試料表面の微細な特徴が明瞭に観察できます。
- したがって、原子番号の低いものを見るためには、低い加速電圧を設定する必要があります。これにより、SEMで試料の表面構造や形状を高い解像度で観察することが可能となります。
noname#230358
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noname#230359
回答No.1
原子番号が低い物は電気伝導率が低いため試料を金などの導電性の物質でメッキする必要があります。理由は二次電子を効率良く放出させ、試料帯電による露出オーバーと像の歪みを防ぎ写りを良くする為です。また電子線の余剰エネルギーを逃がして試料の破損を防ぐ効果もあります。見られない訳ではないですが以上の理由で上手く写らないですよ。
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noname#230359
回答No.2
参考までに！ 現在のＳＥＭは「低真空ＳＥＭ］や照射電圧を小さくして蒸着無しで 絶縁材料を見ることのできるＳＥＭも有りますよ。
質問者
お礼
最新の情報もいただきありがとうございます。 結局SEMでは見れず、EPMAで確認しようと思っています。 さらに確認できなければ、そのSEMで見てみたいです。
お礼
わかりやすい説明ありがとうございます。 補足として、 試料は、原子番号が高いものと混同しています。 低電圧じゃないと見れないかもといわれ、 なぜだろうと思い投稿させていただきました。 原子番号が大きいものは、反射電子のエネルギーが大きくなるので 電圧を高くすると、反射電子の影響が大きくなり、 原子番号が小さいものは、見れないんですかね。。。 貴重な説明をいただきありがとうございました。