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真空状況の作り方
- 真空状況下でフィルムとフィルムの貼り合せを行う冶具の設計を考えています。
- 容積600x600x200(mm)くらいの容器の中を真空度２００Ｐa位にしたい場合はどのような方法があるかどなたか御教授願います。
- またその方法で真空状況を作る場合の掛かる時間のほうも合せて御教授願います。
- 機械設計
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数社の真空ポンプ屋さんに確認するのが一番です。 直接の内容は教えては頂けませんが、貴殿が設計しようとしている副情報も合わせて 教えてくれる事があるからです。 小生は、そのようにして情報収集をやっていました。
真空ポンプの選定は到達真空度と排気速度によります。前者からダイヤフラ ム，ドライ，油回転ポンプなどが該当すると思います。下記ＵＲＬを参照下 さい。
200pa/10秒：容器容量７２リッターであれば、真空ポンプは排気速度 ３０００リッター／min程度が必要です。 排気に水分が含まれるならばドライ式がおすすめです。 結構、稼動音がうるさいですから、要求される環境によっては防音ボックスが必要でしょう。 アンレットさんのドライ真空ポンプのカタログに排気速度の 計算式が記載されています。ご参考ください。 システム的にはこの真空度ですとポンプ直接吸引方式でおこない、 バッファータンクなどは設けません。 だだし、チャンバーが複数個ある場合は、低真空・高真空の バッファータンクを設けて組み合わせて稼動する方法も 考えられます。 真空ポンプの負荷を下げるために真空チャンバーの容量をなるべく小さくすることを考えられてはいかが。
チャンバーをSUS材で作製して、 水分が付着しないように気をつければ、 どんなにかかっても10分以内です。 極普通の真空でよいなら、チャンバーに油回転ポンプを 取り付けるのが一番手っ取り早いでしょう。 アルバックから販売されている10万円くらいの小型のポンプでOKです。 油回転ポンプは10Pa以下まで真空引きできますので 200Pa以下まで真空引きされては困ると言うのであれば、 窒素ガスなりアルゴンガスなりを少量流しながら、 真空引きのラインを絞れるようにバルブを取り付けるのが良いですね。 真空ポンプの販売店なら、チャンバーを作製してくれる 町工場を紹介してくれると思います。
真空の清浄度をどれくらい要求するか分かりませんが、ドライポンプや油回転ポンプを使えば、対応できます。
お礼
アドバイスありがとうございます。 参考にさせていただきます。ただタクト的に真空度２００Paに持っていくまで の時間が１０秒前後を想定しています。その場合何か他に方法はありませんでしょうか？