真空チャンバー

質問

真空内で樹脂板に0.1mmの樹脂シートを貼り合せようとしています。
SUSで製作した真空チャンバーを1秒で真空度50paに到達させて貼り合わせを行なったところ上手に貼り合わせれませんでした。
そこで、中が見えるようにアクリルにて真空チャンバーを製作して実験を行なったところ、真空度に達する前にシートが御椀型になってしまう現象がみえました。
どうして、このようになるのか分かりません。
（排気速度に問題があるのか。アクリルのため静電気が悪さしているのか。）
経験豊富の方で、考えられる原因と解決方法をお教え頂ければとても助かります。
宜しくお願い致します。

回答No.2

noname#230359

アクリル単体で真空チャンバーに入れてもおわんになりますか？
張り合わせたときだけに起こるなら、張り合わせの側が真空に達するのが遅れるなど、真空側と張り合わせ側に条件の違いが起こっているのだともいます。

回答No.1

noname#230359

真空度が50Pa（5mmAq）以上にすることは難しいんですね。
１．真空チャンバーの容積を小さくして応答性を良くする。
２．貼り合わせる樹脂板をsusやアルミのパンチングをつかって開孔率をあげる。
３．貼り合わせる樹脂板のセンター裏に遮蔽円板をつけて周りから吸い込むようにする。

補足

回答有難う御座いました。
私の説明が悪かったようです。
真空度が50Pa（5mmAq）以上にするのではなくて、シートが御椀型になってしまう現象が　どうしてなるのか分からないのです。お手数をお掛け致しますが、教えて頂けないでしょうか。