静電ばね軟化効果について

質問

静電ばね軟化効果とは，硬化ばねにバイアス電圧を加えて，ばねが効果する過程で一時的にばねが軟化(バイアス電圧の絶対値が小さいとき)する現象のことを言うのでしょうか？
また，参考になる文献などあれば教えてください．

回答No.1

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http://toshi.iis.u-tokyo.ac.jp/toshilab/?plugin=attach&refer=Top%20Page&openfile=jumpstart_2013-03-16.pdf