水中に浸漬したウェーハを輸送可能な容器について

質問

ある実験のため、200mmのウェーハを水中（純水または過酸化水素水）に完全に浸漬させた
状態で色んな会社へ送る事ができる輸送容器を探しています。

　一度に輸送可能な枚数にこだわりはありません。ネットでウェーハの輸送容器を調べましたが、液中での輸送は想定されていないようで、困っています（液漏れを考えると当然かもしれませんが）。

　できれば、通常のウェーハ輸送容器のように、容器の中でウェーハが動かないものがあれば
ありがたいです。

　どこかにそのような容器を製作している会社などあればご教授ください。

回答No.2

kagakusuki · ベストアンサー

「ウェーハの輸送」と「純水または過酸化水素水の輸送」の両方が可能な1つの容器を使うのではなく、PFA等の過酸化水素水にも侵されない材質で作られている通常のウェーハの輸送容器と、SUS316L等の過酸化水素水にも侵されない材質で作られている蓋付き広口タンクを用意し、そのタンクの蓋に雄コネクターなどを使用して真上方向にチューブを取り付け、そのチューブの先には外部の埃の侵入を防ぐための手動弁を取り付けておいた上で、ウェーハの輸送容器をタンク内に固定し、液が波うたない様にするために、タンク内を完全に液で満たす様にされては如何でしょうか？

お礼

kagakusuki様

ご教示ありがとうございました。

手作業が途中に入る為、SUS製だとあまりに重くなり危険であるとの判断
から、ALL樹脂製（結局純水になったので、PP製）で一体物製作にしようと
思っています。

液を完全に満たす為の手段は、是非採用したいと思います。

回答No.1

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ちょっと自分は聞いたことないですね。
ウェハーキャリアの製造メーカーに問い合わせたらどうでしょうか?
自分の知る限り製造工程での液浸(?)での搬送はなかったので結構特殊な扱いになるのではないでしょうか?